人類從事將真空作為滅弧和絕緣介質的應用研究，迄今已有一百多年的歷史。早在1893 年，美國人里頓豪斯就設計出世界上第1 只真空滅弧室并以專利的形式發表；1920年，瑞典佛加公司研制出世界上第一臺真空開關；1926年，加里福尼亞工學院的索倫森教授發表了真空開關的試驗結果，顯示了在真空中分斷電流的可能性，并預言應用真空開關的時代不久就會到來。但因分斷能力小，又受到真空技術和真空材料發展水平的限制，尚不能投入實際使用，使得真空開關在工業上的實際應用被大大推遲了。
到1950年前后，隨著真空技術以及相關技術如冶金技術等的發展，真空滅弧室的制造技術得到了提高，又重新開始了真空開關在工業上應用的研究。1956年，羅斯對杰寧無線電制造公司生產的用于高頻回路的真空開關進行了改造，試制出了15kV、200A的真空開關。50年代美國才制成第一批適用于切斷電容器組等特殊要求的真空開關,分斷電流尚停在4千安的水平。
二十世紀70年代初，全球范圍掀起的中壓開關無油化浪潮給真空開關帶來了前所未有的發展機遇。80年代中期，真空斷路器的分斷能力已達100千安。
憑借自身巨大的技術優勢，真空開關僅用了不到20年的時間就取代少油開關而成為中壓領域的主導產品。目前單斷口真空斷路器已達到145kV 電壓等級，短路開斷電流已達到200kA。
